[发明专利]电沉积系统在审
申请号: | 202211510474.1 | 申请日: | 2022-11-29 |
公开(公告)号: | CN115787039A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 沈亦佳;罗志福;梁积新;于宁文;吴宇轩 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/10;C25D9/08;C25D21/02;C25D21/14 |
代理公司: | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人: | 路东爽 |
地址: | 102413 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的实施例提供一种电沉积系统。电沉积系统包括:电沉积液容器,用于盛放具有放射性的电沉积液;阳极支撑件,设置于电沉积液容器上并部分覆盖电沉积液容器的开口,阳极支撑件用于支撑电沉积系统的阳极;阴极支撑装置,设置于电沉积液容器的上方,用于支撑多个阴极;电源,与阳极和阴极连接,用于为阳极和阴极供电;外壳体,外壳体形成密闭的腔室。其中,电沉积容器、阳极支撑件以及阴极支撑装置设置于腔室内,电源设置于腔室外。本发明的实施例提供的电沉积系统,将电沉积容器、阳极支撑件以及阴极支撑装置设置在腔室内,以防止电沉积液对操作人员造成的损害。 | ||
搜索关键词: | 沉积 系统 | ||
【主权项】:
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