[发明专利]一种单晶炉生产用智能水冷装置在审

专利信息
申请号: 202211516469.1 申请日: 2022-11-30
公开(公告)号: CN115787066A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 韩永龙;罗乾;苏鑫;薛占福;杨福;余圈珠;高玉顺;高生全;张培顺;伊清华 申请(专利权)人: 阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 代理人: 崔雷
地址: 810007 青*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明涉及单晶炉生产技术领域,具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置,包括炉体,炉体的内侧固定安装有环形板,环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板,驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心,相邻的两个第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板,连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动,且二者之间的角度不变,若干第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构,通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内,且通过二者的底端排到炉体外,解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。
搜索关键词: 一种 单晶炉 生产 智能 水冷 装置
【主权项】:
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