[发明专利]一种大厚度高效沉积铜合金电解液及沉积方法在审

专利信息
申请号: 202211543879.5 申请日: 2022-11-30
公开(公告)号: CN115838946A 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 赵阳;王文宇;王晓明;任智强;韩国峰;滕涛;朱胜;田根;郭迎春;李华莹;彭战武;尹国明;朱甫宏;秦智勇 申请(专利权)人: 中国人民解放军陆军装甲兵学院
主分类号: C25C1/12 分类号: C25C1/12
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 张闯;李洪福
地址: 100000*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种大厚度高效沉积铜合金电解液及沉积方法。本发明方法,所述电解液的配方包含铜离子源、络合剂、晶粒细化剂和阳极活化剂;所述铜离子源为冰醋酸铜、柠檬酸铜中的一种或两种;所述络合剂为醋酸铵、柠檬酸铵、三乙醇胺中的一种;所述晶粒细化剂为聚丙烯酸钠;所述阳极活化剂为氯化铵。沉积方法中采用上述电解液进行沉积。采用本发明提供的电解液进行沉积的沉积速率增长了一倍以上;沉积厚度提高3~5倍以上,铜沉积层硬度更高,摩擦系数更小,磨损量更低。
搜索关键词: 一种 厚度 高效 沉积 铜合金 电解液 方法
【主权项】:
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