[发明专利]真空蒸镀成膜装置有效
| 申请号： | 202211560725.7 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115786857B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 姜友松;郑炳蔚;王怀民;顾康鑫;杨运;葛鹤龄;李家保 | 申请（专利权）人： | 安徽其芒光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙) 32547 | 代理人： | 张印铎;杨新星 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空镀膜技术领域，真空蒸镀成膜装置包括：发射机构，发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和具有用于容纳灯丝的容纳槽的盖板；用于盛放蒸发材料的盛放机构；用于将电子束约束并聚焦引导至盛放机构内的偏转聚焦机构；偏转聚焦机构包括磁铁和用于引导或改变磁场空间分布的导磁组件；导磁组件包括分别连接于磁铁沿其轴向相对的两端的两个导磁板、以及分别与导磁板相连的至少两个导磁极；导磁板所在的平面垂直于轴向，导磁极沿第一方向位于导磁板的同一侧；导磁板沿第一方向的另一侧设置有盛放机构。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置，能避免蒸发材料堆积在导磁组件上，且不会遮挡蒸发材料的蒸发路径。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸镀成膜 装置 | ||
【主权项】：
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