[发明专利]一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件在审
| 申请号： | 202211586865.1 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN115789494A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 聂锦辉;庄树强;黄轩宇;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | F16S1/00 | 分类号： | F16S1/00;F16S1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 崔俊红 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及结构超滑领域，公开了一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件，包括在超滑岛的上表面形成金属层；超滑岛内具有超滑界面，金属层具有用于使超滑片的边缘向远离超滑界面的方向翘曲的内应力；沿着超滑界面分离超滑岛，超滑片位于超滑界面上方，超滑片和金属层的边缘向远离超滑界面的方向翘曲，得到边缘翘曲的结构超滑部件。本申请中通过制备具有内应力的金属层以及分离超滑岛的方式使得边缘翘曲的结构超滑部件可以实现大规模制备，使得边缘翘曲的结构超滑部件更容易得到，同时，由于边缘翘曲的结构超滑部件包括金属层，具有优良的导电性能，可以拓宽边缘翘曲的结构超滑部件的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 结构 部件 及其 制作方法 组件 | ||
【主权项】：
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