[发明专利]一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置在审
| 申请号： | 202211593965.7 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115815849A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡玉奎;郑淳益;黄志东;李佳航;宋清华;王兵;刘战强 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/362;B23K26/12 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 马海波 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接，采用本发明的固定机构避免了对工作台和工件基底的损伤，加工效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 刻蚀 柔性 电子器件 固定 机构 加工 装置 | ||
【主权项】：
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