[发明专利]一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法在审
| 申请号： | 202211594625.6 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN116064189A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 刘丹丹;付存;赵亚雯;任欢欢;王森;汪静 | 申请（专利权）人： | 河南联合精密材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C09G1/02;G01N11/00;G01N11/14;C10N30/02;C10N30/04;C10N10/06 |
| 代理公司： | 郑州铭晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41134 | 代理人： | 张万利 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市河南自贸试验区郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法，该金刚石切割液以重量百分比计包括以下原料：金刚石粉体8‑20%、分散剂0.5‑2.5%、表面活性剂2‑6%、触变胶溶液10‑40%、基础油31.5‑79.5%；其中，所述触变胶溶液包括以下原料：植物油85‑97%、硬脂酸铝2‑10%、油品防老剂T501 1‑5%。该金刚石切割液高效易清洗，生产方式简单，容易量产；此外还发现对金刚石切割液进行屈服值的检测方法可以缩短配方研发过程中悬浮稳定性优劣的判断时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶圆用 金刚石 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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