[发明专利]一种气体纯化装置及工艺在审
申请号: | 202211597895.2 | 申请日: | 2022-12-14 |
公开(公告)号: | CN115779624A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 花施;郭春燕 | 申请(专利权)人: | 江苏津鑫净化科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;C01B23/00 |
代理公司: | 北京广溢知识产权代理有限公司 16001 | 代理人: | 李健 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种气体纯化装置及工艺,涉及气体纯化技术领域,主要解决的问题是目前国内的设备不足以支持同时完成高纯气体和超纯气体同时高压直充的效果,多塔柜体、一塔、二塔、三塔、四塔、换热塔、五塔、冷却塔、六塔,所述一塔、二塔、三塔、四塔、换热塔、五塔、冷却塔、六塔均安装在多塔柜体中,所述多塔柜体的一侧设置原料气柜体,所述原料气柜体用于储存未经过滤的气体,所述一塔与原料气柜体之间设置第一管道,所述一塔与二塔之间设置第二管道,所述二塔与三塔设置第三管道,一套设备可以排出两种不同纯度规格的氩气。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 纯化 装置 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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