[发明专利]一种防止信号串扰的焦平面阵列器件及其制作方法

摘要

本申请涉及一种防止信号串扰的焦平面阵列器件及其制作方法，包括如下步骤：在衬底表面制作依次包括第一接触层、吸收层、第二接触层、腐蚀停刻层的外延层；刻蚀外延层以形成焦平面阵列台面；焦平面阵列台面表面制备钝化膜；刻蚀去除焦平面阵列台面底部的钝化膜；然后在底部和侧壁沉积金属电极层；依次进行In柱制作、读出电路安装和胶体填充；去除衬底和腐蚀停刻层；刻蚀底部的第二接触层，裸露出金属电极层；在第二接触层表面制作增透膜；在裸露的金属电极层表面制作背电极。本申请通过台面侧壁生长金属电极层及利用刻蚀背面接触层的方式，将屏蔽现有深台面阵列器件存在的两种串扰路径，从而达到进一步抑制焦平面阵列像元之间信号串扰的目的。