[发明专利]太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置

摘要

本发明公开了一种太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，包括依次连接的可独立控温并能对反应气体在反应装置的宽度方向上均匀布气的大通量进气室，可分区控制反应气体界面温度的反应通道，可独立控温并能组织反应废气在反应装置的宽度方向上均匀排布的大通量排气室，以及可产生负压从而将排气室内的反应废气强制抽离的废气回收处理装置。本发明实现了进气室和排气室独立控温，以及进气预热道、反应气道、排气道界面精细、精确控温，可进行超大气量化学气相沉积，大大提高化学气相沉积法玻璃镀膜产品质量和生产效率。