[发明专利]一种溅射电源控制系统以及控制方法在审
| 申请号： | 202211601685.6 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115800798A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 吴向方 | 申请（专利权）人： | 吴向方 |
| 主分类号： | H02M9/00 | 分类号： | H02M9/00;C23C14/54;C23C14/35;H02M1/088;H03K3/02;H03K3/011;H03K3/013;H03K3/57;H02M9/04 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人： | 蔡晓敏 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种溅射电源控制系统以及控制方法，涉及电源技术领域，为解决起弧放电对电源输出的影响。本发明提供一种溅射电源控制系统，包括单片机、第一比较器、图腾柱驱动电路、并联的两个碳化硅开关管、第二比较器、电流采样电阻以及第二高速光耦。其中，单片机，输出3.3V PWM脉冲信号。第一比较器正极接收高电平时，第一比较器将3.3V脉冲转变成12V脉冲输出。栅极与图腾柱驱动电路的输出端相连。漏极与容性负载相连。第二比较器正极输入端与碳化硅开关管的源极相连。电流采样电阻与碳化硅开关管的源极相连。第二高速光耦输入端与第二比较器的输出端相连，第二高速光耦的输出端与单片机相连，本发明用于镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 电源 控制系统 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
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