[发明专利]一种曲率半径测量方法及系统在审
| 申请号： | 202211604630.0 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115790453A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;刘一鸣;郝群;王子琛;徐楚恒 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种曲率半径测量方法及系统，能够利用较短的导轨即可实现曲率半径的高精度检测，极大增大了干涉法的测量范围，降低了测试成本。方法包括：(1)搭建检测光路，测量待测镜口径，将待测镜移动至共焦位置；(2)推动待测镜沿光轴方向移动，在位移测量干涉仪中获取轴向位移距离，在相位测量干涉仪中获取离焦波前；(3)对离焦波前进行Zernike拟合，获取离焦系数；(4)在光学设计软件中对测试光路精确建模，将系统波像差中的离焦系数作为系统的优化目标，将待测镜曲率半径作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至软件获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致，得到待测镜的曲率半径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 半径 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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