[发明专利]一种射频电源及温度调控方法有效

专利信息
申请号: 202211612013.5 申请日: 2022-12-15
公开(公告)号: CN115604965B 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 张娟;戴晓东;戴晓云 申请(专利权)人: 南京积芯力科技有限公司
主分类号: H05K5/02 分类号: H05K5/02;H05K7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于射频电源技术领域,具体涉及一种射频电源及温度调控方法,该射频电源包括外壳,所述外壳的一端固定有操作面板,所述操作面板的一端装配有外置温度监测元件,所述外壳的内部固定有集成电路板,所述集成电路板上集成有温度传感器和湿度传感器,所述外壳的另一端开设有排气孔,所述外壳的内部固定有与排气孔相适配的散热风扇,且所述外置温度监测元件和集成电路板以及集成电路板和散热风扇之间均通过导线电性连接。本发明能够根据外壳内部的温度对流向外壳内部的气体进行加热,避免外壳内部的高温气体和低温气体融合后,局部气体温度降低至露点温度以下,出现水汽凝结的现象,造成外壳内部潮湿,降低集成电路板的使用寿命和稳定性。
搜索关键词: 一种 射频 电源 温度 调控 方法
【主权项】:
暂无信息
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