[发明专利]一种La/C/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202211621178.9 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN116540338A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘扬;朱运平;金长利 | 申请（专利权）人： | 苏州宏策光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/35;G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 江苏省太*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明属于高反射极紫外元件技术领域，提供了一种La/C/B |
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| 搜索关键词： | 一种 la b4c 紫外 多层 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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