[发明专利]一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法在审
申请号: | 202211634863.5 | 申请日: | 2022-12-19 |
公开(公告)号: | CN116282039A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 张建树;袁威;郭瑞丽;彭文才;张金利 | 申请(专利权)人: | 石河子大学 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 新疆知产力专利代理事务所(特殊普通合伙) 65113 | 代理人: | 李凌云 |
地址: | 832003 新疆维*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明涉及三氯氢硅的提纯技术领域,具体涉及一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法。本发明提供了一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法。相比活性炭及商品树脂等常规吸附剂,本发明所用的氮掺杂碳材料不仅具有比表面积大,孔隙结构发达等特点,并且其在高温改性后具有较好的热稳定性,所引入的氮能增强碳材料对硼杂质的选择性,显著提高对硼杂质的吸附效果。发明人首次发现并验证当氮形态为吡啶氮时,其具有较好的硼杂质吸附效果。本发明所提供的三氯氢硅中硼杂质的清除方法操作简单,成本较低,适合工业化推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 三氯氢硅中硼 杂质 清除 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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