[发明专利]一种多量程纳米薄膜压力传感器在审
| 申请号： | 202211640714.X | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116358749A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 徐承义;杨雪梅;刘素夫;雷卫武 | 申请（专利权）人： | 松诺盟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L1/20 |
| 代理公司： | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 | 代理人： | 刘波 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种多量程纳米薄膜压力传感器，涉及压力传感器领域。该压力传感器包括主控芯体、薄膜电阻应变片和引压嘴；主控芯体具有基础承载板，基础承载板开设有多个应力集中孔；薄膜电阻应变片的数量为多个，多个薄膜电阻应变片一一对应设置于多个应力集中孔，薄膜电阻应变片设置有惠斯顿敏感电桥，薄膜电阻应变片连接主控芯体，惠斯顿敏感电桥上的应变电阻通过焊接引线连接主控芯体；引压嘴的数量为多个，且引压嘴的数量等于应力集中孔的数量，多个引压嘴一一对应设置于多个应力集中孔的端口，引压嘴和薄膜电阻应变片挤压配合。本发明通过在一个主控芯体上布置多个压力测量区域(薄膜电阻应变片和应力集中孔的组合)，实现点位的同步测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多量 纳米 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
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