[发明专利]一种222纳米准分子灯板及其制作方法在审
| 申请号： | 202211642817.X | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116053112A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 梅泽群;赛红帅;梅文标 | 申请（专利权）人： | 南京医电应用科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 刘召民 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种222纳米准分子灯板及其制作方法，一种222纳米准分子灯板包括平行设置的电介质板，所述电介质板能够透过222纳米紫外光；所述电介质板相对的两个内表面上均设有钢化层；两片电介质板的边缘之间通过围坝密封连接以形成用于容纳放电气体的腔体，所述围坝的侧壁上开有通气口；至少一片电介质板的外表面设有网状电极以用于射出222纳米紫外光，用于透光的电介质板的外表面镀有光学过滤膜以用于过滤非222纳米波长的光。本发明采用灯板结构更容易产生辐照强度均匀的效果，在灯板上制作电极等工艺简单、成本低；电介质板和围坝构成的密闭放电腔体的制造工艺可控性强；电介质板内表面的钢化处理提高了准分子灯的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 222 纳米 分子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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