[发明专利]多波段紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本申请属于光电技术领域，尤其涉及一种多波段紫外光电探测器及其制备方法。其中，多波段紫外光电探测器包括依次叠层贴合设置的基底、紫外光探测层和二维功能层，以及与紫外光探测层和二维功能层同时形成欧姆接触的第一电极和第二电极；二维功能层中负载有量子点。本申请提供的多波段紫外光电探测器，充分利用紫外光探测层在日盲波段的光电探测能力，二维材料的可见光到近红外光的光电探测能力，量子点强大的光吸收能力和较强的载流子吸收能力，通过各功能层的结合，器件同时具有宽光谱、高响应度、快速响应等特性。可广泛应用于集成光电子器件设计、制造与工艺技术等微电子技术领域，以及半导体发光技术、平板显示器件等新型电子元器件领域。