[发明专利]一种晶圆抛光系统及晶圆传输方法在审
| 申请号： | 202211653830.5 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN116494102A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 徐枭宇;邓耀敏 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 邵志 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆抛光系统，包括抛光单元；抛光单元包括晶圆传输通道及抛光模组；抛光模组包括抛光平台和抛光臂，抛光臂可带动晶圆相对抛光平台活动；晶圆传输通道上具有至少两个工作位，晶圆装卸台可在工作位之间移动；相邻抛光单元之间设有传递结构，其沿着第一轨迹在两者的工作位之间传输晶圆，第一轨迹落在晶圆传输通道上；和/或，晶圆装卸台可于相邻抛光单元之间移动；和/或，抛光单元和外界中转台之间设有传送结构，其沿着第二轨迹在两者的工作位之间传输晶圆，第二轨迹落在晶圆传输通道上。本发明还公开了一种晶圆传输方法。本发明轨迹都落在晶圆传输通道上，不会占用别的空间，布局合理；工艺灵活，加工效率高；传输的稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 系统 传输 方法 | ||
【主权项】：
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