[发明专利]一种侧壁保护的金属散热片蚀刻方法及金属散热片有效
| 申请号： | 202211675052.X | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN116121752B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王文涛;张亮旗;王世权 | 申请（专利权）人： | 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;G03F7/16;F28F3/00;F28F21/08 |
| 代理公司： | 广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671 | 代理人： | 卢斌 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属散热片技术领域，尤其是指一种侧壁保护的金属散热片蚀刻方法及所制得的金属散热片,本发明通过一次蚀刻制得一级蚀刻槽后，再对金属基板进行二次涂布曝光显影以使得一级蚀刻槽的侧壁被保护，从而在二次蚀刻时能够在一级蚀刻槽的底部蚀刻成型二级蚀刻槽，通过一级蚀刻槽和二级蚀刻槽的深度之和大于一级蚀刻槽/二级蚀刻槽的宽度，从而达到了深宽比大于1的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侧壁 保护 金属 散热片 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
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