[发明专利]叠置误差的校正方法在审
| 申请号： | 202211677207.3 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN116400573A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 马士元 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种叠置误差的校正方法。该校正方法包括：根据一晶圆的一下层图案和一上层图案得到一叠置误差，其中该下层图案由该晶圆经过的一第一制造设备获得，而该上层图案由一曝光设备获得；根据该叠置误差和在该第一制造设备之后、该曝光设备之前对该晶圆执行的一工艺，产生一校正叠置误差；以及根据该校正叠置误差调整该曝光设备。 | ||
| 搜索关键词： | 误差 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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