[发明专利]一种硅片旋转印刷方法及系统在审
| 申请号： | 202211694754.2 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115848040A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 江苏利元亨智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12;B41M1/26;B41F15/36;B41F15/42;H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 刘文卓 |
| 地址： | 226300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提出一种硅片旋转印刷方法，硅片旋转印刷方法包括：步骤100：获取硅片的中心点；步骤200：使硅片的中心点、网版的中心点以及旋转刮刀的轴线重叠；步骤300：旋转刮刀以及网版移动到达印刷位置，旋转刮刀旋转以进行印刷；其中，在步骤300中，控制旋转刮刀在旋转时保持设定扭矩，控制旋转刮刀浮动补偿以保持设定压力。首先，使用旋转刮刀进行硅片印刷，能够提高大尺寸的硅片的印刷速度，其次，使用恒扭矩方式对旋转刮刀的旋转进行控制，能够提高不同位置的浆料压印的一致性，最后，进行浮动补偿，能够使旋转刮刀对硅片的压力保持稳定，硅片旋转印刷方法能够提高硅片的产量以及印刷质量。本申请还提出一种硅片旋转印刷系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 旋转 印刷 方法 系统 | ||
【主权项】：
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