[发明专利]基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质在审
| 申请号： | 202211708137.3 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115935126A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 宁坤奇;钟晓兰 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/15 | 分类号： | G06F17/15;G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘阳;黄健 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。该方法包括：确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。本申请的方法，提高了工艺参数的确定精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 热敏电阻 工艺 参数 确定 方法 装置 设备 介质 | ||
【主权项】：
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