[发明专利]真空室测温参考点装置及真空室测温系统在审
申请号: | 202211716632.9 | 申请日: | 2022-12-30 |
公开(公告)号: | CN115931153A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 戴建新;戴科晨 | 申请(专利权)人: | 常熟市虞华真空设备科技有限公司 |
主分类号: | G01K1/20 | 分类号: | G01K1/20;G01K13/00;G01K15/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张俊范 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空室测温参考点装置,包括导热基座和导热盖组成的等温块,导热基座上设有若干热电偶固定槽和热电阻穿孔,导热盖设有与热电偶固定槽匹配的凸齿,参考热电偶的测温端头设置于热电偶固定槽内,导热盖盖合于导热基座上,凸齿嵌入热电偶固定槽并将测温端头抵压在热电偶固定槽的槽底,热电阻穿孔位于热电偶固定槽的下方,热电阻穿孔内设有压板,导热基座设有锁紧螺钉,由锁紧螺钉通过压板将热电阻固定在压板和热电阻穿孔的孔壁之间,等温块设置不少于两层的热屏蔽层。本发明还公开了使用该参考点装置的真空室测温系统。本发明减少了参考热电偶与热电阻的温度偏差且整体温度波动小。 | ||
搜索关键词: | 真空 测温 参考 装置 系统 | ||
【主权项】:
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