[发明专利]一种二氧化硅活性清洗剂、制备装置及方法在审
| 申请号： | 202211727334.X | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116333825A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李冬明;殷金虎 | 申请（专利权）人： | 江苏晶久微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/00 | 分类号： | C11D1/00;C11D3/20;C11D3/32;C11D3/60 |
| 代理公司： | 南京协行知识产权代理事务所(普通合伙) 32493 | 代理人： | 郑立发 |
| 地址： | 213200 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了二氧化硅活性清洗剂，包括如下重量份的原料：乙醇8‑10份，异丙醇20‑25份，n,n‑二甲基乙酰胺5‑10份，氟碳表面活性剂5‑6份，去离子水50‑70份。本清洗剂可以降低表面张力，提高预湿浸润效果。二氧化硅活性清洗剂制备装置，包括储料室，混合室，层析柱，滤芯，所述储料室与混合室的入口管路连接，所述混合室的出口与层析柱的入口管路连接，所述层析柱的出口与滤芯的入口管路连接，所述滤芯的出口与层析柱的入口管路连接。本制备装置结构简单，使用方便。二氧化硅活性清洗剂制备方法，包括如下步骤：乙醇和异丙醇互溶；加入n,n‑二甲基乙酰胺；加入去离子水；加入氟碳表面活性剂；阳离子吸附；过滤；检验；分装。本制备方法流程简单，操作便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 活性 洗剂 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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