[发明专利]去胶设备及去胶方法在审
申请号: | 202211731552.0 | 申请日: | 2022-12-30 |
公开(公告)号: | CN116274112A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 冀然;郭莲 | 申请(专利权)人: | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00;F26B5/08;G03F7/00 |
代理公司: | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人: | 王鹏里 |
地址: | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请涉及纳米压印技术领域,公开一种去胶设备,包括浸泡部、清洗部和移动部,浸泡部包括浸泡槽、储存罐和高压喷嘴,储存罐与高压喷嘴连通,高压喷嘴的出口位于浸泡槽槽底的上方,浸泡槽用于盛放去胶液,储存罐用于储存去胶液,浸泡部用于去除母版或压印片上的粘胶;清洗部包括清洗槽,清洗部用于清洗母版或压印片的残余去胶液;移动部包括移动组件和真空吸盘,移动组件与真空吸盘连接,真空吸盘用于吸附母版或压印片,移动部用于带动母版或压印片移动。采用本公开的去胶设备能够有效去除母版和压印片上的粘胶,实现母版和压印片的循环利用,能够有效节约成本,且本申请能够自动化去胶,相比人工操作更加安全高效。本申请还公开一种去胶方法。 | ||
搜索关键词: | 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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