[发明专利]一种MOCVD设备及其供电方法在审
| 申请号： | 202211732753.2 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116014673A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 汪亮良;闫勇 | 申请（专利权）人： | 楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H02H7/09 | 分类号： | H02H7/09 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 吴浩 |
| 地址： | 201210 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MOCVD设备及其供电方法，所述供电方法包括：监测主用电器件的输入电压，以获取所述主用电器件的输入电压的电压暂降信息，所述主用电器件包括用于使所述MOCVD设备中的托盘旋转的旋转电机；在所述电压暂降信息具有第一预设特征时，对所述主用电器件的输入电压进行补偿；以及在所述电压暂降信息具有第二预设特征时，使所述MOCVD设备运行预设停机程序，控制所述旋转电机停止旋转。本发明提供的MOCVD设备的供电方法，能够实时补偿工厂电压暂降，并执行相应预设停机程序，保护设备及产品的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 及其 供电 方法 | ||
【主权项】：
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