[实用新型]两轴位移装置有效

专利信息
申请号: 202220082949.0 申请日: 2022-01-13
公开(公告)号: CN217115901U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 龚威;胡兵;彭仁强;江旭初 申请(专利权)人: 上海隐冠半导体技术有限公司
主分类号: H02K41/02 分类号: H02K41/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 何冲
地址: 201206 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种两轴位移装置,通过第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块的反力引导作用组合,可以将平面运动组件在位移过程中引起的旋转角位移,转化为第一质量块和第二质量块在第一水平方向上的直线位移或者位移差,或者转化成第三质量块和第四质量块在第二水平方向上的直线位移或者位移差。与现有技术相比,该方案实现了对附加旋转力矩的运动反冲和缓冲消化的效果,极大削弱了平面运动组件运动过程中在旋转方向上对支撑台产生的振动干扰影响,提高位移装置整体运动的稳定性和定位精度。并且,与现有的位移装置相比,该方案不会有反应迟滞的问题,不会在启动和加减速过程中对位移装置引起附加的振动冲击。
搜索关键词: 位移 装置
【主权项】:
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