[实用新型]一种质谱仪大气压离子源排气装置有效

专利信息
申请号: 202220185040.8 申请日: 2022-01-24
公开(公告)号: CN217009118U 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 曹祥宽;尚雪松;张远清;孙慈晶;吴杰;贾颖;凌星;程文播 申请(专利权)人: 天津国科医工科技发展有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/24;H01J49/26
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 贺杰
地址: 300300 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型公开了一种质谱仪大气压离子源排气装置,属于质谱仪领域,包括离子源腔室、与离子源腔室连通的排气口、真空发生器、电子调压阀、控制器以及压力传感器,真空发生器安装于排气口以及离子源腔室之间并与电子调压阀连接,控制器与电子调压阀以及压力传感器电性连接,控制器通过压力传感器监测离子源腔室内的压力,当离子源腔室内压力变化时,控制器调节电子调压阀出口的压力,以改变真空发生器负压口的真空度,从而改变排气口的排气速率,使离子源腔室内部压力恒定,确保质谱仪信号稳定。
搜索关键词: 一种 质谱仪 大气压 离子源 排气装置
【主权项】:
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