[实用新型]一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架

摘要

本实用新型公开了一种光罩存放盒固定、开启装置及其构成的放置架，其特征在于：包括安装架(1)，分别设置在所述安装(1)上的下压机构、两个侧面定位机构(6)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(6)之间形成用于放置光罩存放盒(16)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(16)，两个所述侧面定位机构(6)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(16)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(16)的盒门(122)。本实用新型通过下压机构和侧面定位机构可以对光罩存放盒进行固定，同时再通过开门机构来打开光罩存放盒的盒门，方便后续智能机械手拿取光罩，提升光罩检测效率。