[实用新型]一种晶圆传送盒

摘要

本实用新型提供一种晶圆传送盒，该晶圆传送盒包括盖体、槽盒及底座，盖体的背板上设有开口，开口处覆盖有电致变色玻璃制成的调光板。通过控制旋钮对调光板的驱动电流进行调节，就能实现调光板的透光或遮光，并能自由调节透光度。当对晶圆进行储存时，调节调光板为遮光状态，从而保护晶圆不受外界光线污染，当需要观察内部晶圆状态时，则将所述调光板调节为透光状态，从而方便观察。在不破坏其他结构的基础上，弥补了现有的晶圆传送盒仅有透光功能或仅有遮光功能的不足，使得盖体的透光度可控可调，具有较高的灵活度。