[实用新型]一种自走式端面监测仪

摘要

本实用新型提供一种自走式端面监测仪，涉及芯片端面监测技术领域，包括检测台，所述检测台两侧设有移动装置，所述移动装置表面设有升降装置，所述升降装置的升降端安装有连接板，所述连接板正面设有转动杆，所述转动杆表面的凹槽内分别设有检测探头和吸附头，所述检测台顶面的凹槽内阵列设有置物箱，所述检测台顶面设有推板，所述检测台顶面放置有回收箱，在对芯片的端面进行平整度或者粗糙度监测时，可自动将监测到的不合格芯片提取回收，等待工作人员集体将不合格的芯片处理，无需人工操作，设备简单，将芯片提取装置与检测探头一体化。