[实用新型]三氟化氮提纯装置

摘要

本实用新型属于三氟化氮生产设备领域，具体涉及一种三氟化氮提纯装置，包括吸收罐、进气管、循环增压机、液化罐与气体收集罐，吸收罐内盛有氢氧化钠溶液，进气管插入氢氧化钠溶液内，吸收罐通过第一输气管连接循环增压机的进气口，循环增压机出气口通过第二输气管连接液化罐，液化罐的外侧壁上设有冷凝套，冷凝套上设有冷介质进口与冷介质出口，液化罐的底部设有出液口，出液口上设有出液阀，出液口通过第三输气管连接气体收集罐。本实用新型所述的三氟化氮提纯装置，可将三氟化氮产品中混有的四氟化硅气体和氮气分离，有效提高了三氟化氮产品的纯度。