[实用新型]一种振子驱动型微流控的振子容腔结构

摘要

本实用新型公开了一种振子驱动型微流控的振子容腔结构，包括微流道和振子泵，微流道设置在一基体上，振子泵包括具有明确NS极的球形磁子、可产生交变磁场变化的驱动装置；球形磁子放置在微流道内，驱动装置靠近球形磁子设置在微流道外侧；微流道上设有一下凹容腔，球形磁子放置在所述容腔内。本实用新型通过在微流道上设置下凹容腔，一方面，在非工作状态下，球形振子在该容腔中依靠重力，自动定位在下凹容腔的底部，对于外部驱动装置而言，定位安装稳定；另一方面，通过调整设置下凹容腔球面部分的直径，可以使得振子的体积，有效工作区域不受微流道的限制，可以获得更大的流体驱动控制范围。