[实用新型]一种用于硅单晶片的酸洗机有效

专利信息
申请号: 202220291052.9 申请日: 2022-02-14
公开(公告)号: CN217165706U 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 王世江;吴启宝 申请(专利权)人: 马鞍山市世辰半导体科技有限公司
主分类号: B08B11/02 分类号: B08B11/02;B08B1/04;B08B3/08;B08B13/00
代理公司: 合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212 代理人: 张立荣
地址: 243071 安徽省马鞍山市马鞍山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种用于硅单晶片的酸洗机,涉及硅单晶片生产技术领域,针对人工进行酸洗效率低,效果差,长时间进行人工酸洗会对身体造成伤害的问题,现提出如下方案,包括机体,所述机体的内部底端固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有驱动杆,所述驱动杆的顶部固定连接有工作台,所述驱动杆的下方固定套设有第一皮带轮;所述机体的内部右侧转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的下端固定套设有第二皮带轮,所述第二皮带轮与第一皮带轮的外部套设有皮带,所述螺纹杆上螺纹套设有移动板。本实用新型不仅可以通过夹板进行快速定位加持固定处理,同时可以对硅单晶片主体进行自动清洗处理,有效的提高了硅单晶片酸洗的效率和效果。
搜索关键词: 一种 用于 晶片 酸洗
【主权项】:
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