[实用新型]旋转搬运机构及硅片生产流水线

摘要

本实用新型涉及一种旋转搬运机构及硅片生产流水线，硅片生产流水线包括工作台和旋转搬运机构，旋转搬运机构包括驱动模块、旋转模块和吸附搬运模块。驱动模块包括能绕一沿第一方向延伸的轴线转动的输出部；旋转模块包括转盘和设置于转盘的传动组件，转盘和传动组件共同连接于驱动模块的输出部；吸附搬运模块绕另一沿第一方向延伸的轴线可转动地安装于旋转模块的转盘，吸附搬运模块与传动组件传动连接；在一个驱动模块的驱动下，吸附搬运模块能够从工作台的一个位置将硅片吸附并搬运至工作台的另一位置，节省了吸片—放片—吸片整个工作过程的总时长，可以显著地提高产能，同时简化了机械结构及控制程序，有利于大规模推广应用。