[实用新型]单晶硅抛光液泵给系统有效
| 申请号： | 202220340195.4 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN216778587U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 罗平新;王春阳;季清海;罗正光 | 申请（专利权）人： | 东莞德盟工业有限公司 |
| 主分类号： | B01F27/90 | 分类号： | B01F27/90;B01F33/40;B01F23/53 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523770 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了单晶硅抛光液泵给系统，包括箱体,底座,支架以及泵给结构；泵给结构安装在箱体上，箱体安装在支架上，支架安装底座上；泵给结构包括：旋转组件，起泡组件和供给组件；旋转组件安装在箱体上，气泡组件安装在箱体上，供给组件安装在箱体上；本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具备以下有益效果：使得抛光液在储存箱内得到充分的搅拌使得抛光液内的微粉不会堆积在底部使得抛光液内的微粉均匀的分布在抛光液内，使得抛光效率得到提升；使得抛光液在使用时，可以调节抛光液的供给流速和流量，使得抛光液使用率得到提升不会照成浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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