[实用新型]一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置有效
| 申请号： | 202220346262.3 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN217536135U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 何秉轩 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 张子宽 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置，涉及物理气相沉积技术领域，以解决现有技术中电子束蒸镀装置的能量利用率较低的问题。电子束蒸镀用坩埚包括：用于容纳待沉积的蒸发料的坩埚本体和包覆设置于坩埚本体的外侧的导电保温托，导电保温托用于保温坩埚本体。电子束蒸镀装置包括上述技术方案所提的电子束蒸镀用坩埚。本实用新型提供的电子束蒸镀用坩埚及电子束蒸镀装置用于提高电子束蒸镀装置对能量的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸镀用 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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