[实用新型]一种推车柜有效
申请号: | 202220348470.7 | 申请日: | 2022-02-21 |
公开(公告)号: | CN216974315U | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 张光建;袁德贵 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | E04H1/12 | 分类号: | E04H1/12;E04H17/00;E04B1/343 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 尤彩红 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种推车柜,包括柜体和多个滚轮,多个所述滚轮安装在所述柜体的底部,所述柜体通过所述滚轮滚动,所述滚轮具有自锁结构;所述柜体具有一内部空间,所述柜体包括门,所述门具有打开和关闭两种状态;所述柜体设置有抽气孔;所述抽气孔的一端与所述柜体的内部空间连通,另一端用于连接排气管。所述推车柜可以自由移动位置,方便对光刻机等设备进行维护保养,并且可以降低维护保养过程中TVOC挥发到车间环境中的含量。 | ||
搜索关键词: | 一种 推车 | ||
【主权项】:
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