[实用新型]一种二极溅射靶枪有效
| 申请号： | 202220387468.0 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN217324268U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 苏冠华;曹彦伟;张如意 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 张密密 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种二极溅射靶枪，包括一绝缘板，绝缘板设置在无氧铜靶座和基座之间，无氧铜靶座与绝缘板相互贴合的端面之间以及基座与绝缘板相互贴合的断面之间均设有被紧压于端面之间的至少一真空密封圈，本实用新型提供的二极溅射靶枪，真空密封性好，适用于超真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220387468.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
