[实用新型]一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202220398472.7 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN217839203U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 | 申请（专利权）人： | 乐山市京运通新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 赵雷 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅生产设备的技术领域，具体涉及一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉。一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，包括可上下分离的上保温筒和中下保温筒，所述上保温筒与中下保温筒分离后形成中间缝隙，所述中间缝隙的缝距可调节。本实用新型利用上保温筒与中下保温筒之间的间隙大量辐射热场内部的热量，单晶炉内高温区的热量直接辐射到炉壁上，炉壁维持单晶生产低压环境，带走热场余热，形成横向温度梯度，停炉时吸收上保温筒与中下保温筒形成的缝隙间辐射出来的热量，加速热场快速冷却，利用炉壁的大的吸热面积，迅速冷却热场。利用此装置，可有效降低停炉时间，并提升单晶炉和热场使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉停炉 快速 冷却 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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