[实用新型]一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置有效
| 申请号： | 202220410585.4 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN217194718U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王升;陈辉;李有群;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置，涉及半导体制造领域。该装置由真空吸盘和碳化硅晶锭对中心调节机构这两部分组成。该装置解决了现有碳化硅晶锭外圆加工过程中碳化硅晶锭易脱落，操作不方便，费时费力的弊端，提高碳化硅晶锭外圆加工的成品率和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶锭外圆 加工 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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