[实用新型]细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备有效
| 申请号： | 202220437256.9 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN217499495U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 盛旺;范占军;杜朋轩;盛之林;谢永龙 | 申请（专利权）人： | 宁夏高创特能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B22D27/02;B22D27/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 郭立宁 |
| 地址： | 751100 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备设备，所述铸锭设备为多晶铸锭炉，包括上炉体、下炉体、隔热笼、石英陶瓷坩埚、顶加热器件、四周侧加热器件、碳/碳复合保温方框、石墨热交换台和非接触硅液电磁搅拌装置。通过优化多晶铸锭炉热场，增设非接触硅液电磁搅拌装置，并配合调整的多晶铸锭工艺配方参数，从而得到均匀、细小柱状晶铸锭方锭，大幅度提高大尺寸多晶结构硅靶材内在质量。 | ||
| 搜索关键词： | 细小 柱状 晶硅靶材 基体 铸锭 制备 设备 | ||
【主权项】：
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