[实用新型]一种单晶炉热场防尘装置及热场防尘单晶炉有效
| 申请号： | 202220445062.3 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN217149381U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 | 申请（专利权）人： | 乐山市京运通新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;B08B15/02 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 赵雷 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶硅生产设备的技术领域，具体涉及一种单晶炉热场防尘装置及热场防尘单晶炉。一种单晶炉热场防尘装置，用于单晶合炉时减少微尘杂质掉入热场，包括，位于中下保温筒上方的上保温筒，位于上保温筒上方并用于将上保温筒开口封闭的防尘盖板。通过在热场结构中的中下保温筒上设置上保温筒，并在上保温筒上设置防尘盖板，在合炉时利用该防尘盖板将上保温筒上方开口封闭，阻挡合炉时热场外部的微尘杂质进入热场，可以有效的减少掉入热场的微尘杂质，以此可以降低拉晶过程中单晶硅棒断线的频率，此外由于较少的微尘杂质的影响，单晶硅棒中少子寿命也不会受到影响降低，从而保证拉制生产出的单晶品质，提高了单晶硅的生产率及生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 防尘 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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