[实用新型]一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置

摘要

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置。该防脱扣装置用于长晶机内连接重锤和复投器上部的三角挂件；所述复投器，为一利用石英材料所制备的圆筒形容器；所述重锤，其为一由金属钼所制备的圆柱体；所述防脱扣装置，分为两部分，上部为圆柱形腔体结构，下部为底部和侧壁分别设有开口的“碗”形腔体结构；防脱扣装置上部与重锤连接；防脱扣装置下部开口所形成“挂槽”结构，用于三角挂件进出防脱扣装置。本申请所提供的长晶机多晶硅石英复投器防脱扣装置，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定化、连续化生产具有较好的实用价值。