[实用新型]一种合成石英玻璃沉积用节能插板有效
| 申请号： | 202220455617.2 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN216639283U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王海亮;徐秀杰;崔超;牛纯富 | 申请（专利权）人： | 陕西士成海普新材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人： | 王洋 |
| 地址： | 715405 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种合成石英玻璃沉积用节能插板，包括楼板，所述楼板底部设置有节能插板主体，且节能插板主体包括导轨、光栅尺、第一挡板、第二挡板、第一气缸、第二滑块和观察孔，所述楼板底部设置有导轨和第一气缸，且导轨内侧设置有光栅尺，所述导轨底部设置有第一挡板和第二挡板。该合成石英玻璃沉积用节能插板通过在楼板的底部设置可以横向移动的节能插板主体，在节能插板主体的底部设置滑台，节能插板主体内部的支撑杆下端与滑台连接，实现支撑杆的左右摆动，同时节能插板主体上的第二挡板和第一挡板也可以与支撑杆同步进行摆动还可以达到密封的效果，保证沉积炉内部炉压和气流得稳定，从而保证砣料得均匀，达到节约能源的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合成 石英玻璃 沉积 节能 插板 | ||
【主权项】：
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