[实用新型]压力传感器组件及电子设备有效

专利信息
申请号: 202220455883.5 申请日: 2022-03-03
公开(公告)号: CN217006189U 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 桑新文;王一峰 申请(专利权)人: 苏州纳芯微电子股份有限公司
主分类号: G01L9/08 分类号: G01L9/08;G01L19/06;G01L19/14
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 方世栋
地址: 215000 江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请公开了一种压力传感器组件及电子设备。所述压力传感器组件包括基座、壳体以及压电转换结构;所述基座上设置有通孔,所述壳体与所述基座固定连接,所述压电转换结构位于所述基座上且与所述基座电连接;所述压电转换结构包括衬底以及压力感测单元,所述压力感测单元与所述衬底形成背腔,所述背腔与所述通孔相连通以构成压力传递通路,其中,所述压电转换结构、所述基座以及所述壳体构成封闭腔体,所述压力传递通路与外部压力源相连通并且与所述封闭腔体不连通。本申请所公开的技术方案将压电转换结构以及导电引线置于封闭腔体内,从而无需使用凝胶来保护压电转换结构以及导电引线,解决了凝胶成本高且易导致产品不能正常工作的问题。
搜索关键词: 压力传感器 组件 电子设备
【主权项】:
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