[实用新型]一种匀流板及硅片清洗槽有效
| 申请号： | 202220512108.9 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN217043763U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 左国军;汤和平;余兴梅;万红朝 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种匀流板及硅片清洗槽，涉及光伏技术领域。该匀流板包括弹性板体，弹性板体上间隔设置有多个匀流区域，多个匀流区域分别贯穿设置有多个匀流孔，任意相邻的两个匀流区域之间设置有凹槽，凹槽的槽底厚度小于多个匀流区域的厚度。本实用新型提供的匀流板能够改变自身形状但不损坏其本身结构，以避让拆装路径上的障碍物，降低拆装难度，提升拆装效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 匀流板 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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