[实用新型]亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统

摘要

本实用新型公开了一种亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统，包括反应腔；承载台，设置在所述反应腔中，所述承载台承载晶圆；第一干式真空泵，通过第一管路与所述反应腔相连通，所述第一干式真空泵抽取所述反应腔中的气体；以及第二干式真空泵，通过第二管路与所述承载台相连通，所述第二干式真空泵抽取所述承载台上的所述晶圆背面的气体，以将所述晶圆吸附于所述承载台上。根据本实用新型实施例的亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统，提高了干式真空泵的使用寿命、降低了维修成本、延长了设备运行时间。