[实用新型]一种玻璃晶圆平面度检测装置有效
| 申请号： | 202220595953.7 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN217058784U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 陆建力 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝特光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;F16F15/04 |
| 代理公司： | 嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所(普通合伙) 33384 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314023 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及平面度检测领域，本实用新型的技术方案为：一种玻璃晶圆平面度检测装置，包括机架，所述机架上设置有工作台，所述工作台上设置有放置机构，所述放置机构上方设置有检测机构，所述放置机构包括放置底座，所述放置底座中部还设置有放置台；所述检测机构包括检测机架，所述检测机架上端设置有安装板，所述安装板上设置有检测气缸，所述检测气缸下方移动连接有移动板，所述移动板上设置有若干检测探头。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 平面 检测 装置 | ||
【主权项】：
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